檢查電子無(wú)塵車間工作正常所進(jìn)行的各項(xiàng)測(cè)試中，其中一項(xiàng)就是對(duì)室內(nèi)氣流的檢查。這是整個(gè)測(cè)試程序的重要組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染，從而防止污染在室內(nèi)的積累，室內(nèi)必須有充分的氣流流動(dòng)，所以對(duì)氣流必須進(jìn)行檢測(cè)。
在紊流潔凈室中，風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚，電子無(wú)塵車間的各個(gè)部分必須均實(shí)現(xiàn)良好的空氣混合。在單向流凈化車間中，為保證關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到理想潔凈的水平，其送風(fēng)直接來(lái)自高效過(guò)濾器。
電子無(wú)塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：
（1）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；
（2）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。
電子無(wú)塵車間一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。
無(wú)塵車間內(nèi)的工作臺(tái)等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少變得很低；組裝材料選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
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